业内首创,天岳先进公布 8 英寸碳化硅衬底最新技术
【资料图】
天岳先进携 8 英寸碳化硅衬底最新技术动态亮相 Semicon China 展会,公开了最新进展 ... 天岳先进采用液相法制备出了低缺陷的 8 英寸晶体,通过热场、溶液设计和工艺创新突破了碳化硅单晶高质量生长界面控制和缺陷控制难题,尚属业内首创 ... 天岳先进在今年 5 月与英飞凌签订一项新的晶圆和晶锭供应协议,供货碳化硅 6 英寸衬底、合作制备 8 英寸衬底。
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